COMPONENTI

Alimentatore RF 13,56 MHz

GGK-RF15 Generatore RF 200Wat@13.56Mhz.
Generatore per applicazioni in plasma frequenza ISM 13.56Mhz potenza da 0 a 200Watts. Il modello GGK-RF15 e’ il piu’ compatto e affidabile generatore sul mercato per il suo range; viene offerto ad un prezzo di sicuro interesse. I processi in cui il sistema puo’ essere utilizzato sono : 

• Trattamenti in plasma come modifiche superficiali,attivazioni e pre-cleaning
• Alimentazione di piccoli catodi sputtering
• Processi di deposizione assistita da plasma PECVD
• Processi di reactive ION etching Il generatore RF15 è stato progettato per un untilizzo in piccoli sistemi di trattamento in plasma e, date le dimensioni estemamente compatte, puo’ essere montato direttamante a bordo camera.

L’elevato grado di affidabilita’ e compattezza è assicurato dalla selezione di componenti di ultima generazione effettuata in fase progettuale. Ne risulta un apparato composto da un numero limitato di parti e la quasi totale mancanza di cablaggio interno.

Caratteristiche Tecniche

• Dimensioni compatte : mm220 x 180 x 80 ,peso Kg2.5 .si tratta dell’unita’ piu’ piccola e leggera presente sul mercato.
• Nuovo progetto e componentistica: Nelle funzioni circuitali critiche utilizza un driver ad alta velocita’ per alta corrente e uno stadio finale in classe E ad alta efficienza.
• La modulazione ed il controllo della potenza vengono effettute tramite un controllore PWM, in modo da mantenere la massima efficienza lungo tutto il range di potenza utile.
• Elevata flesibilita’: Gambetti Kenologia e ’ disponibile alla customizzazione come scaling non- standard sui segnali di IO, frequenza diverse da 13.56Mhz ecc.

Caratteristiche generali

• Alimentazione: Universale 95 - 240V attraverso l’alimentatore SWS300-48 incluso nella fornitura , oppure 55V DC da sorgente esterna.
• Frequenza :13.56 Mhz stabilizzata al quarzo (altre frequenze a richiesta).
• Alta efficienza dello stadio finale 85% minimo.
• Completo sistema di protezione: alto VSWR, sovracorrente PA, sovratensione drain FET di uscita, sovratemperatura.
• Massima potenza riflessa: 40 Watt.
• Possibilita’ di connessione senza guasti a qualsiasi carico, da aperto a corticircuito.
• Completo di ponte di misura per potenza diretta e riflessa su scala lineare, precisione 5% al fondo scala.
• Intefaccia utente semplice e completa costituita da connettore tipo D a 15 pins. I segnali analogici sono scalati a 10V ed i comandi discreti sono a standard PLC 24V nominali
• Regolazione: sulla potenza diretta, precisione migliorata del 5% al fondo scala, connettore di uscita BNC femmina 50ohm
• Raffreddamanto forzato tramite ventola da 50mm . La ventola funziona solo quando viene richiesta potenza RF. Questo accorgimento estende la durata della stessa.
• Temperatura ambiente in funzionamanto : da 0 a 40 gradi.