FALCON RIE+:
Il Reattore Plasma di Nuova Generazione per Materiali 2D
Tecnologia Plasma Avanzata per Ricerca e Industria
Il FALCON RIE+ rappresenta l’ultima frontiera dei reattori al plasma sviluppati da Gambetti Kenologia. Questo sistema innovativo è stato progettato per rispondere alle crescenti esigenze della ricerca moderna sui materiali bidimensionali e alle applicazioni industriali più sofisticate.
Doppia Modalità Operativa: Massima Versatilità
Modalità Anisotropica
- Polarizzazione porta campioni per attacco direzionale
- Ideale per processi che richiedono alta precisione geometrica
- Controllo ottimale della verticalità delle pareti
Modalità Isotropica
- Polarizzazione elettrodo superiore per attacco uniforme
- Perfetta per pulizia e attivazione superficiale
- Trattamenti delicati su materiali sensibili
Specifiche Tecniche di Eccellenza
Camera di Processo
- Diametro massimo campioni: 8 pollici
- Elettrodo inferiore: 200 mm di diametro
- Sistema di vuoto: Pompa turbomolecolare ad alte prestazioni
- Valvola gate: 3 posizioni per controllo pressione ottimale
Generatore RF Avanzato
- Frequenza: 15,56 MHz
- Potenza: Da <10W fino a 200W
- Step minimo: 1W per controllo ultra-preciso
- Densità di potenza: Basso valore W/cm² per materiali delicati
Sistema Gas Completo
Il sistema supporta una gamma completa di gas di processo:
- N₂ (Azoto): Per processi inerti e pulizia
- Ar (Argon): Sputtering fisico e attivazione
- O₂ (Ossigeno): Rimozione organici e ash
- SF₆ (Esafluoruro di zolfo): Etching silicio
- CF₄ (Tetrafluorometano): Etching ossidi e nitruri
Vantaggi Competitivi
Controllo di Precisione
- Flusso gas lineare dall’alto verso il basso
- Uniformità processo garantita
- Ripetibilità eccellente
Flessibilità Operativa
- Commutazione rapida tra modalità operative
- Range pressioni esteso
- Adattabilità a diverse applicazioni
Affidabilità Industriale
- Componenti di qualità superiore
- Manutenzione semplificata
- Supporto tecnico dedicato
Perché Scegliere FALCON RIE+
Il FALCON RIE+ non è solo un reattore plasma, ma una soluzione tecnologica completa per laboratori di ricerca e centri di sviluppo che lavorano con:
- Materiali bidimensionali (grafene, MoS₂, BN)
- Nanotecnologie avanzate
- Dispositivi elettronici di nuova generazione
- Applicazioni fotovoltaiche innovative
Supporto Tecnico e Assistenza
Gambetti Kenologia offre:
- Installazione chiavi in mano
- Formazione operatori
- Assistenza tecnica specializzata
- Sviluppo processi personalizzati
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Gambetti Kenologia – Leaders nell’innovazione plasma dal 1985.
