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COMPONENTI

Alimentatore AC 50 KHz

Sorgente plasma AC mod.GGK-LF 500

Si tratta di una sorgente AC con frequenza di 50Khz per plasma, a basso costo e molto compatta. Il sistema fornito include il trasformatore di adattamanto con 3 prese intermedie selezionabili dall’utente ed una completa circuitazione di misura.
L'alimentatore è disponibile in due versioni, la prima con display ed unità di controllo integrata, la seconda versione è nella versione black box ideale per chi voglia controllare l'alimentatore via PC o PLC, per questa versione è anche diponibile il controllore remoto GGK LF/RF.
Il sistema fornisce 500 watt@50 Khz, ed e’ possibile l’adattamento di impedenza da 150 a 2500ohm, selezionando una delle 3 possibili configurazioni per il trasformatore di uscita.

Applicazioni tipiche:

  • Glow discharge.(in sostituzione dei convenzionali sistemi in DC)
  • Processi di deposizione PECVD.
  • Alimentazione di piccoli catodi Sputtering.
  • Sorgente di BIAS in sistemi ICP.
  • processi di cleaning ed attivazione in plasma

In alcune applicazioni, questo generatore costituisce un’alternativa ai sistemi RF, con costi sensibilmente inferiori e con minori problemi di messa a punto. Il comando ed il controllo avvengono attraverso una user port analogica completa e flessibile .

Prestazioni e benefici:

  • Estrememente compatto : mm 340 P x120 H x 180 L peso Kg2.
  • Connessione diretta all’elettrodo,nessun adattatore di impedenza necessario.
  • l’erogazione della potenza nominale (500 Watt) e’ garantita in un range di impedenza di 3:1 senza intervenire sulle prese del trasformatore.
  • Sistema di misura dei parametri elettrici del plasma integrato: ritrasmissioni di Vrms, Dcbias ,potenza attiva.
  • Possibilta’ di effettuare la regolazione in potenza o tensione RMS.
  • Ampio range di impedenza, carichi adattabili da 200 a 2000 ohm.
  • Eliminati i problemi di archi tipici della DC
  • Rendimento di conversione elevato > 90%,non necessita di raffreddamento forzato
  • Circuito arc detector attivo, spegnimento istantaneo degli archi

Specifiche elettriche

  • Alimentazione 230V monofase @ 4Amp,assorbimento massimo 550Watt
  • User port analogica,scaling segnali 0-10V,comandi 24V,interfacciamento diretto con PLC
  • Connettore di uscita Molex HV , fornito di cavo per la connessione all’elettrodo.
  • Precisione letture : Tensione 5% , potenza 7% ,DC bias 5%.
  • Protezioni da :sovracorrente,archi,sovratemperatura,limite di potenza