Questo sito utilizza cookie tecnici, inoltre sono installati cookie di terze parti (tecnici e profilanti). Chiudendo questo banner, l'utente accetta l'utilizzo di tutti i cookie. Per consultare l'informativa cookie completa visitare questa pagina.

OK

COMPONENTI

Automatic Matching Network – GGK-AM1

Il dispositivo denominato “Auto Matching Unit GGK‑AM1” è una rete di adattamento progettato e costruito per funzionare con generatori a Radio Frequenza (RF) a 13,56 MHz in applicazioni di trattamento a plasma.

Tale dispositivo trasforma la impedenza complessa di un plasma in una impedenza puramente resistiva a 50 Ω. Questa operazione favorisce la condizione di massimo trasferimento.

Il circuito di adattamento è costituito da una rete di tipo “L” (ma si può anche scegliere una configurazione di tipo “T”) che comprende un induttore fisso e una coppia di capacitori variabili in aria. La posizione dei capacitori viene controllata per mezzo di motori di posizionamento.

 Durante il funzionamento, occorre fornire i comandi attraverso il connettore posto sul pannello frontale.

Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 prevedono i tre metodi di funzionamento di seguito elencati:

  • Funzionamento Manuale, in cui la posizione dei condensatori è funzione di un comando esterno
  • Funzionamento Automatico, in cui la posizione dei condensatori varia automaticamente in funzione delle caratteristiche d’impedenza del carico
  • Funzionamento Misto: in cui è possibile mantenere uno dei due condensatori in funzionamento manuale mentre l’altro in funzionamento automatico.

Il secondo metodo è completamente automatico pertanto, se viene selezionato, quando la rete di adattamento rileva un segnale a radiofrequenza al suo interno, cercherà automaticamente il punto di lavoro ottimale al fine di ottenere il massimo trasferimento di potenza da generatore RF a carico e non necessita della presenza fissa dell’operatore.

 Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 sono composte da un involucro realizzato in alluminio, al cui interno vengono alloggiati:

  • I circuiti di condizionamento del segnale RF
  • I circuiti di interfacciamento con unità esterne, con il connettore e le spie identificative dello stato del dispositivo
  • I motorini necessari per il movimento dei condensatori

 Il dispositivo è molto versatile, in quanto consente l’adattamento di un ampio range d’impedenze di carico, semplicemente cambiando i valori assoluti dei suoi elementi costitutivi (Condensatori e induttore) per mezzo di appositi “Pad” posti al suo interno.

 

 

 Caratteristiche del prodotto

      Dimensioni compatte
      Controllo del funzionamento semplice
      Bassi costi di gestione
      Architettura flessibile che consente l’adattamento di un ampio range di impedenzeProcessi estremamente ripetibili
      Interfaccia utente che fornisce le principali informazioni (posizione dei condensatori, DC-Bias…)
      Progettata per funzionare su sistemi basati su segnali RF a 13,56 MHz

 

 Specifiche Tecniche
 Dimensioni  L x P x A – Footprint  279 x 400 x 112 mm
 Peso Netto  5 Kg
 Distanze di rispetto  Destra, Sinistra – 100 mm, Retro, Fronte – 200 mm
 Servizi  Connettore RF ingresso  Tipo N femmina
 Connettore RF uscita  Tipo 7/16” femmina (opzionale: barra di rame per connessione diretta al carico)
 Connettore interfaccia  DB25 socket
 Interfaccia di controllo  Alimentazione  24Vdc, 1 A max (Fuse protected T2A)
 Segnali Analogici I/O  0-10 Vmax
 Segnali Digitali I/O  24 Vdc – ingressi forniti di isolatore ottico
 Circuito di adattamento  Tipo di rete  “L” (opzionale: altre configurazioni su richiesta)
 Modalità di funzionamento  Automatica / manuale / Automatica su singolo canale
 Segnale RF  Potenza massima  600W
 Frequenza  13,56 MHz
 Tensione Max di catodo  2000 Vac
 Corrente DC Max di catodo  10A RF
 Compliance  International  CE Marked

 

 

 

Scheda di interfacciamento GGK-CS14

Controlla manualmente il tuo alimentatore RF 13,56 MHz

La scheda di interfacciamento GGK-CS14 ha il compito di mettere in comunicazione la rete di adattamento automatica con le piattaforme CESAR ® della Advanced Energy.
La scheda fornisce alla AM1 gli strumenti necessari per interpretare i comandi provenienti dalle piattaforme CESAR ®, in modo trasparente all’utente finale.
Grazie a questo diventa possibile pilotare la AM1 direttamente dal generatore,  dando la possibilità all’operatore di variare manualmente la posizione dei condensatori della AM1 direttamente dal pannello del generatore.
Inoltre diventa possibile usare i preset forniti dal generatore stesso sfruttando così gli automatismi presenti nelle piattaforme CESAR ®
La scheda è concepita per essere montata direttamente sul corpo della AM1, non prevede manutenzione di alcun genere e costi di formazione.

E' possibile realizzare queste tipo di schede di interfacciamento anche per altri produttori di alimentatori RF 13,56 MHz con potenze fino a 600W.