Il dispositivo denominato “Auto Matching Unit GGK‑AM1” è una rete di adattamento progettato e costruito per funzionare con generatori a Radio Frequenza (RF) a 13,56 MHz in applicazioni di trattamento a plasma.
Tale dispositivo trasforma la impedenza complessa di un plasma in una impedenza puramente resistiva a 50 Ω. Questa operazione favorisce la condizione di massimo trasferimento.
Il circuito di adattamento è costituito da una rete di tipo “L” (ma si può anche scegliere una configurazione di tipo “T”) che comprende un induttore fisso e una coppia di capacitori variabili in aria. La posizione dei capacitori viene controllata per mezzo di motori di posizionamento.
Durante il funzionamento, occorre fornire i comandi attraverso il connettore posto sul pannello frontale.
Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 prevedono i tre metodi di funzionamento di seguito elencati:
Il secondo metodo è completamente automatico pertanto, se viene selezionato, quando la rete di adattamento rileva un segnale a radiofrequenza al suo interno, cercherà automaticamente il punto di lavoro ottimale al fine di ottenere il massimo trasferimento di potenza da generatore RF a carico e non necessita della presenza fissa dell’operatore.
Le reti di adattamento della serie GGK‑AM1 sono composte da un involucro realizzato in alluminio, al cui interno vengono alloggiati:
Il dispositivo è molto versatile, in quanto consente l’adattamento di un ampio range d’impedenze di carico, semplicemente cambiando i valori assoluti dei suoi elementi costitutivi (Condensatori e induttore) per mezzo di appositi “Pad” posti al suo interno.
Caratteristiche del prodotto |
● Dimensioni compatte |
Specifiche Tecniche | ||
Dimensioni | L x P x A – Footprint | 279 x 400 x 112 mm |
Peso Netto | 5 Kg | |
Distanze di rispetto | Destra, Sinistra – 100 mm, Retro, Fronte – 200 mm | |
Servizi | Connettore RF ingresso | Tipo N femmina |
Connettore RF uscita | Tipo 7/16” femmina (opzionale: barra di rame per connessione diretta al carico) | |
Connettore interfaccia | DB25 socket | |
Interfaccia di controllo | Alimentazione | 24Vdc, 1 A max (Fuse protected T2A) |
Segnali Analogici I/O | 0-10 Vmax | |
Segnali Digitali I/O | 24 Vdc – ingressi forniti di isolatore ottico | |
Circuito di adattamento | Tipo di rete | “L” (opzionale: altre configurazioni su richiesta) |
Modalità di funzionamento | Automatica / manuale / Automatica su singolo canale | |
Segnale RF | Potenza massima | 600W |
Frequenza | 13,56 MHz | |
Tensione Max di catodo | 2000 Vac | |
Corrente DC Max di catodo | 10A RF | |
Compliance | International | CE Marked |
La scheda di interfacciamento GGK-CS14 ha il compito di mettere in comunicazione la rete di adattamento automatica con le piattaforme CESAR ® della Advanced Energy.
La scheda fornisce alla AM1 gli strumenti necessari per interpretare i comandi provenienti dalle piattaforme CESAR ®, in modo trasparente all’utente finale.
Grazie a questo diventa possibile pilotare la AM1 direttamente dal generatore, dando la possibilità all’operatore di variare manualmente la posizione dei condensatori della AM1 direttamente dal pannello del generatore.
Inoltre diventa possibile usare i preset forniti dal generatore stesso sfruttando così gli automatismi presenti nelle piattaforme CESAR ®
La scheda è concepita per essere montata direttamente sul corpo della AM1, non prevede manutenzione di alcun genere e costi di formazione.
E' possibile realizzare queste tipo di schede di interfacciamento anche per altri produttori di alimentatori RF 13,56 MHz con potenze fino a 600W.